特許

J-GLOBAL ID：200903062793618817

ロボットアームのたわみ補正装置

発明者： 佐野 正俊 ,  毛笠 佳典 ,  吉田 雅也
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170266
公開番号（公開出願番号）：特開2001-001282
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】 複数の伸縮アームのたわみ量の補正を、単一の上下駆動手段4によって、円滑に行うこと。【解決手段】 たとえば上下駆動手段の最上部に、一対のアームが、個別的に前後駆動手段によって伸縮駆動されるように設けられて、ロボットが構成される。一方のアームA2が伸長されて加熱炉からガラス基板を取出す際に、その伸長しているアームのたわみ量の補正制御が、上下駆動手段によって行われ、このアームA2のたわみ量が、別のアームA1のたわみ量に等しい前後軸に沿う位置に到達したとき、前進中の前記別のアームA1のたわみ量の補正制御が行われる。こうして各アームのたわみ量のうち、最大値のたわみ量を補正するように、上下駆動手段が制御される。

請求項（抜粋）：

前後軸に沿って前後駆動手段によって変位する複数のアームを、それらのアームを共通に、上下軸に沿って上下駆動手段によって変位するロボットアームのたわみ補正装置において、各アームの前後軸の位置を検出する検出手段と、検出手段の出力に応答し、各アームの前後軸に対応するたわみ量を演算するたわみ量演算手段と、たわみ量演算手段の出力に応答し、各アームのたわみ量から適切なたわみ補正量を演算して補正するように、上下駆動手段を制御する制御手段とを含むことを特徴とするロボットアームのたわみ補正装置。

IPC (2件)：

B25J 9/10 ,  B25J 9/06

FI (2件)：

B25J 9/10 A ,  B25J 9/06 D

Fターム (11件)：

3F059AA01 ,  3F059BA00 ,  3F059DA09 ,  3F059DD01 ,  3F059FB17 ,  3F060AA02 ,  3F060BA06 ,  3F060DA09 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060GD14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-054953   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開昭57-069315