集積回路の検査方法と装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：越場隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-231042
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063823
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【構成】磁気的に安定した検査領域内で集積回路を動作させ、該集積回路内を流れる電流により発生した磁界の変動をSQUIDで検出することにより、該集積回路内での電流の状態を実時間で監視する。【効果】集積回路の動作状態を、実時間で直接にモニタすることができる。

請求項（抜粋）：

磁気的に安定した検査領域内で集積回路を動作させ、該集積回路内を流れる電流により発生した磁界の変動を、SQUIDを用いた磁気センサで検出して、該集積回路内の電流の状態を実時間で監視することを特徴とする集積回路の検査方法。

IPC (2件)：

G01R 31/302 , G01R 33/035

引用特許：

審査官引用 (4件)

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