電子ビーム露光装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074839
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291025
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】キャラクタアパーチャを用いることなしに、キャラクタプロジェクション方式と同様の露光を行うことができ、キャラクタプロジェクション方式よりもスループットを向上できる電子ビーム露光装置を提供すること。【構成】被露光体に所望のパターンを露光する電子ビーム露光装置において、電子ビームのオン・オフを独立に制御可能な複数の電子ビーム源を2次元配置し、これらの電子ビーム源を選択的に駆動して所望パターンの成形ビームを放出する電子ビーム発生基板10と、この電子ビーム発生基板10から放出された成形ビームに対して加速,収束及び偏向の制御を行う電子光学構造体22,23,24と、この電子光学構造体22,23,24を通した成形ビームによって露光される被露光体26を平面内で移動させる試料台とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子ビームのオン・オフを独立に制御可能な複数の電子ビーム源を2次元配置し、これらの電子ビーム源を選択的に駆動して所望パターンの成形ビームを放出する電子ビーム発生基板と、この電子ビーム発生基板から放出された成形ビームに対して加速,収束及び偏向の制御を行う電子光学構造体と、この電子光学構造体を通した成形ビームによって露光される被露光体を平面内で移動させる手段とを具備してなることを特徴とする電子ビーム露光装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 341 B , H01L 21/30 341 W

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-155739
特開昭57-180703
特開平2-224322

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