塗布膜形成装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-249230
公開番号（公開出願番号）：特開平10-076207
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】基板に“うねり”が発生した場合でも、薄い均一な厚さの塗布膜を形成できる塗布膜形装置を提供すること。【解決手段】 LCD基板Gを保持するチャックプレート10と、このLCD基板Gの表面に対峙する塗布液供給手段20とを相対的に移動して、塗布液供給手段20から帯状に供給されるレジスト液をLCD基板G表面に塗布する塗布膜形成装置において、塗布液供給手段20の両側に設けられた走行ローラ50を、チャックプレート10にて保持されたLCD基板Gの側縁に移動可能に転動する。これにより、LCD基板Gに追従して塗布液供給手段20を移動することができ、LCD基板Gと塗布液供給手段20との間隔を一定に維持することができる。

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持手段と、上記基板の表面に対峙する塗布液供給手段とを相対的に平行移動して、塗布液供給手段から帯状に供給される塗布液を基板表面に塗布する塗布膜形成装置において、上記塗布液供給手段を、上記保持手段にて保持された基板の側縁を移動させると共に、上記基板と塗布液供給手段との間隔を一定に維持する移動手段を設けた、ことを特徴とする塗布膜形成装置。

引用特許：

出願人引用 (5件)

流体塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180933 出願人：平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
特開昭61-291061
特公平6-040987

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審査官引用 (7件)

流体塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180933 出願人：平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
特開昭61-291061
特公平6-040987

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