特許

J-GLOBAL ID：200903063030223036

RTP反応器を制御する方法と装置

発明者： ハビブ ナスリ ナジム ,  メールダッド マムッド モスレヒ ,  ソムナス バナージ ,  リノ アントニオ ベロ
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-053937
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323916
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 ウェーハ温度の正確な制御。【構成】 高温計集成体(32)によってウェーハ温度を測定するRTP反応器で、高温計集成体(50)を更に設けて、ウェーハ高温計集成体(32)と処理されるウェーハ(16)の間にある石英窓(30)の温度を測定する。熱電対ウェーハを使う較正手順(100,120)の間、ウェーハ高温計集成体(32)及び窓高温計集成体(50)からの測定値を較正し、高温計測定値及び熱電対測定値を収集して較正表に編集する。実際のRTP反応器の動作中、較正表からのデータ及び現在のウェーハ及び窓高温計測定値を使って、補正ウェーハ温度を計算する。次に補正ウェーハ温度を使って、ウェーハ処理加熱計画に従って発熱ランプの強度を制御する。

請求項（抜粋）：

窓を介してウェーハを加熱して処理する少なくとも1つの発熱素子、及び窓を介してウェーハの温度を測定し、ウェーハ高温計測定値を発生する様にしたウェーハ高温計集成体を持つRTP反応器を制御する方法に於て、窓の温度を測定して窓温度を発生する様にした窓温度センサを前記RTP反応器内に取付け、ウェーハ高温計集成体を較正して、熱電対ウェーハを用いてウェーハ較正データを発生し、窓温度誤差係数を含むウェーハ較正データを持つ較正表を編集し、ウェーハ処理の為の予定のウェーハ処理加熱順序を実行し、ウェーハ高温計測定値及び窓温度を収集し、前記ウェーハ高温計較正表に記憶されているデータをアクセスすることによって補正ウェーハ温度を計算し、こうして計算された補正ウェーハ温度に応答して発熱素子を制御する工程を含む方法。

IPC (2件)：

G01J 5/10 ,  G05D 23/19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-110225
  
• 赤外線放射温度測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-256873   出願人：富士通株式会社, 富士通オートメーシヨン株式会社
• 特開平1-110225