特許

J-GLOBAL ID：200903063060416092

FTIRを用いた酸化アルミニウム低圧化学蒸着(LPCVD)の制御システム

発明者： ジョナサン・ダニエル・チャップル=ソコル ,  リチャード・アンソニー・コンチ ,  ジェームズ・アンソニー・オニール ,  ナラヤーナ・ヴィー・サルマ ,  ドナルド・レスリー・ウィルソン ,  ジャスティン・ワイ=チョウ・ウォン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-031952
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302759
出願日： 1995年02月21日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 化学蒸着(CVD)前に反応蒸気を監視し、制御する方法および装置を開示する。【構成】 反応蒸気はCVD反応器への移送時に、サンプリングを行うことなく濃度100%で監視される。汚染物が検出されると、プロセス・コントローラが移送経路を切り換え、反応蒸気をシステム・ポンプへ送る。

請求項（抜粋）：

酸化アルミニウムのフィルムをワークピースに蒸着させるための化学蒸着システムへのアルミニウムトリイソプロポキシドの送出を制御する装置において、第1の配管によってアルミニウムトリイソプロポキシドの供給源に接続され、第2の配管によって化学蒸着反応器へ接続されている赤外線セルであって、化学蒸着反応器へアルミニウムトリイソプロポキシドを送出するための、前記第1配管および第2配管を含む直接配管路内に配置されており、赤外放射線に対して透過性であり、アルミニウムトリイソプロポキシドを搬入するための窓を有している赤外線セルと、前記赤外線セルの下流の前記第2配管内にあり、化学蒸着反応器に接続されている第1出力とシステム・ポンプへつながっている反応器バイパス管路に接続されている第2出力とを有しており、前記第1出力を前記第2出力から絶縁しているバルブと、前記赤外線セルを通って流れる成分蒸気の濃度を決定するために前記赤外線セルを通って流れる蒸気を貫通する赤外放射線を検知するように前記赤外線セルの近傍におかれたフーリエ変換赤外分光計と、前記赤外線セルを通って流れるアルミニウムトリイソプロポキシドの濃度に関する情報を前記フーリエ変換赤外分光計から受け取るように接続されているプロセス・コントローラであって、前記濃度情報に応じて前記バルブを作動させて、前記赤外線セルを通って流れるガスを前記化学蒸着反応器または前記システム・ポンプのいずれかに流す前記プロセス・コントローラと、を含む制御装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 化学気相成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-293174   出願人：三菱電機株式会社
• アルミニウム合金薄膜の形成方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-070355   出願人：川崎製鉄株式会社