特許
J-GLOBAL ID:200903063087983614
移動体機構およびその制御方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-128227
公開番号(公開出願番号):特開2004-030616
出願日: 2003年05月06日
公開日(公表日): 2004年01月29日
要約:
【課題】移動体機構の性能を向上させること【解決手段】移動体を駆動するためのコイルを有する電磁石と、前記コイルに電流を供給するアンプとを含む移動体機構に係り、入力部に入力される指令情報に基づいて前記電磁石をフィードバック制御する第1制御機構によって、前記指令情報が零を示すときには前記アンプが前記コイルに供給する電流が零となる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
移動体を駆動するためのコイルを有する電磁石と、
入力部を有し、前記入力部に入力される指令情報に基づいて前記電磁石をフィードバック制御する第1制御機構であって、前記コイルに電流を供給するアンプを含む第1制御機構と、
前記指令情報が零を示すときには前記アンプが前記コイルに供給する電流を零とする前記オフセット補償機構と、
を備えることを特徴とする移動体機構。
IPC (3件):
G05D3/12
, G03F7/22
, H01L21/027
FI (5件):
G05D3/12 S
, G05D3/12 305L
, G03F7/22 H
, H01L21/30 503A
, H01L21/30 516B
Fターム (17件):
5F046BA03
, 5F046CC13
, 5F046CC17
, 5H303AA06
, 5H303BB01
, 5H303BB06
, 5H303BB11
, 5H303BB17
, 5H303CC01
, 5H303DD04
, 5H303DD25
, 5H303EE03
, 5H303FF03
, 5H303GG13
, 5H303JJ09
, 5H303KK03
, 5H303KK29
引用特許: