特許
J-GLOBAL ID：200903063114462141

光学測定装置

発明者：
中務 貴司

中務 貴司 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (1件)： 松本 直己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-345051
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177732
出願日： 2002年11月28日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】スペース面及び低コストの面での不利を伴うことなく、単色光学系で発生したエネルギー密度の高い単色光が白色光学系のカラー撮像素子に到達することを効果的に防止することができる光学測定装置を提供する。【解決手段】白色光学系3は、白色光源20及びレンズ21,22を含む白色投光系と、カラー撮像素子24及びレンズ23を含む白色受光系と、対物レンズ17の光軸から白色投光系を分離させるためのフィルタハーフミラー16とを含み、フィルタハーフミラー16と対物レンズ17との間に、対物レンズ17の光軸から単色光学系2の単色光源10及び受光素子19を含む部分を分離させるためのハーフミラー15が設けられ、フィルタハーフミラー16は単色光を通過させないで白色光のほとんどの成分を通過させるフィルタガラスを基材としており、フィルタハーフミラー16を通過した白色光がカラー撮像素子24に到達する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
単色光源からの単色光を試料に照射して試料からの単色光を受光素子で受光するための単色光学系と、白色光源からの白色光を試料に照射して試料からの白色光をカラー撮像素子で受光するための白色光学系とを備え、対物レンズ及びその光軸が前記単色光学系と前記白色光学系とに共通である光学測定装置であって、前記白色光学系は、白色光源及びレンズを含む白色投光系と、カラー撮像素子及びレンズを含む白色受光系と、前記対物レンズの光軸から前記白色投光系を分離させるための第1ハーフミラーとを含み、 前記第1ハーフミラーと前記対物レンズとの間に、前記対物レンズの光軸から前記単色光学系の単色光源及び受光素子を含む部分を分離させるための第2ハーフミラーが設けられ、 前記第1ハーフミラーが前記単色光を通過させないで前記白色光のほとんどの成分を通過させるフィルタガラスを基材として用いたフィルタハーフミラーであり、該フィルタハーフミラーを通過した白色光が前記カラー撮像素子に到達するように構成されていることを特徴とする光学測定装置。
IPC (3件)：
G02B21/06 ,  G01B11/02 ,  G02B21/36
FI (3件)：
G02B21/06 ,  G01B11/02 Z ,  G02B21/36
Fターム (28件)：
2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065DD16 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065GG02 ,  2F065GG06 ,  2F065GG22 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL13 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 共焦点顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-256691   出願人：株式会社キーエンス
  • 走査顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-180647   出願人：株式会社キーエンス
  • 蛍光顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-078555   出願人：株式会社ニコン

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