位置決めテーブル装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175959
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134618
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】位置決めテーブル装置の位置決め精度および位置決め時間を向上する。【構成】テーブル1の位置を検出する位置検出手段6と、複数個のコイル4を有し該テーブルを駆動する多相型のモータと、各コイルへの通電電流値を指令する指令手段8と、該テーブルの位置に応じて通電すべきコイルを選択する選択手段9と、選択されたコイルへの通電電流を指令された電流値に一致させるべく制御するサーボ回路11とを備えた位置決めテーブル装置において、前記コイルの選択切り替え時に前記各コイルへの合成電流値が実質的に変化しないように前記サーボ回路へ与える通電電流値信号の変化を緩やかにする手段13を設ける。

請求項（抜粋）：

テーブルの位置を検出する位置検出手段と、複数個のコイルを有し該テーブルを駆動する多相型のモータと、各コイルへの通電電流値を指令する指令手段と、該テーブルの位置に応じて通電すべきコイルを選択する選択手段と、選択されたコイルへの通電電流を指令された電流値に一致させるべく制御するサーボ回路とを備えた位置決めテーブル装置において、前記コイルの選択切り替え時に前記サーボ回路へ与える通電電流値信号の変化を緩やかにして前記各コイルへの合成電流値が実質的に変化しないようにしたことを特徴とする位置決めテーブル装置。

IPC (4件)：

G05D 3/00 , B23Q 15/24 , H01L 21/027 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-164487
特開昭62-290347
磁気回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-196429 出願人：日立金属株式会社

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