特許
J-GLOBAL ID：200903063131964991

アライメント装置及びアライメント方法

発明者：
古本 建二

古本 建二 について

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真井 幹也

真井 幹也 について

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中山 知之

中山 知之 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332640
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164655
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】 プローブシートに設けられているプローブ端子と半導体ウエハに形成されている検査用電極とを正確に位置合わせできるようにする。【解決手段】 半導体ウエハ1を保持しているウエハトレイ10はZ軸方向及びθ方向に移動可能なZ・θテーブル21の上に載置されていると共に、Z・θテーブル21はX軸方向及びY軸方向に移動可能なX・Yテーブル22に固持されており、半導体ウエハ1は、Z軸方向、θ方向、X軸方向及びY軸方向にそれぞれ移動可能である。配線基板5は、2つの貫通孔23aを有する保持基板23に保持されている。装置本体25から保持基板23の各貫通孔23aに向かって延びる2つのカメラ保持アーム26が設けられ、各カメラ保持アーム26の先端部には、互いに近傍に位置する半導体ウエハ1の第1のアライメントマーク及びプローブシートの第2のアライメントマークの各映像を読みとるCCDカメラ27が固定されている。
請求項（抜粋）：
検査用電極を有する複数の半導体集積回路素子が形成されている半導体ウエハに設けられた第1のアライメントマークと、前記検査用電極と対応する位置にプローブ端子を有する光透過性のプローブシートに設けられた第2のアライメントマークとを位置合わせするためのアライメント装置であって、前記第1のアライメントマーク及び第2のアライメントマークと対応する位置に貫通孔を有しており、前記プローブシートを保持する保持基板と、前記半導体ウエハを上下方向へ移動させる上下方向移動手段と、前記半導体ウエハを水平方向へ移動させる水平方向移動手段と、平面的に互いに近傍に位置する前記第1のアライメントマーク及び第2のアライメントマークの各映像を前記保持基板の貫通孔を通して取り込む光学装置と、前記光学装置に取り込まれた前記第1のアライメントマーク及び第2のアライメントマークの各映像に基づき、前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメントマークとが重なるように、前記水平方向移動手段が前記半導体ウエハを水平方向へ移動させる移動量及び前記上下方向移動手段が前記半導体ウエハを上下方向へ移動させる移動量を演算する演算手段とを備えていることを特徴とするアライメント装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
H01L 21/66 H ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/68 F ,  G01R 31/28 K
Fターム (32件)：
2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G032AA00 ,  2G032AF02 ,  2G032AF04 ,  2G032AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA70 ,  4M106DD03 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10 ,  4M106DD13 ,  4M106DG26 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  5F031CA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031MA33 ,  9A001BB06 ,  9A001KK31
引用特許：
審査官引用 (3件)

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