プラズマ発生用高周波電源装置の保護方法及び電源装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中井宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205262
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035699
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】実験を行わずに損失電力保護レベルを容易に計算し、必要十分な範囲で進行波電力を抑制し、スイッチング素子を発熱から保護できるプラズマ発生用高周波電源装置の保護方法及び電源装置を提供する。【解決手段】DC電圧検出信号Vi及びDC電流検出信号Ii及び進行波電力検出信号Pf及び反射波電力検出信号Prよりパワーアンプ損失電力PLを演算し、パワーアンプ損失電力PLがパワーアンプ損失電力保護レベルPLpを超過したとき損失電力減算信号ΔPL(<0)を演算する手段からなる超過損失電力保護回路614と、進行波電力設定信号Psから進行波電力検出信号Pfを減算した信号Ps-Pfに損失電力減算信号ΔPL(<0)を加算することによって進行波電力誤差信号ΔPsをPf-Ps+ΔPLに抑制し進行波電力を抑制する進行波電力設定値・検出値比較回路69とによってパワーアンプ6の発熱量を抑制する。

請求項（抜粋）：

進行波電力設定信号から進行波電力検出信号を減算した進行波電力誤差信号によって進行波電力を進行波電力設定信号の示す大きさに維持する手段を備えたプラズマ発生用高周波電源装置に対する保護方法において、DC電圧及びDC電流及び進行波電力及び反射波電力を検出し、DC電圧検出信号とDC電流検出信号と進行波電力検出信号と反射波電力検出信号とからパワーアンプ損失電力を演算し、前記パワーアンプ損失電力が損失電力保護レベルを超過したときに負の信号である損失電力減算信号を演算し、前記損失電力減算信号を外部設定信号に加算して前記進行波電力設定信号を抑制するプラズマ発生用高周波電源装置の保護方法。

IPC (2件)：

H05H 1/46 , H01L 21/3065

FI (2件)：

H05H 1/46 R , H01L 21/302 B

Fターム (5件)：

5F004AA16 , 5F004BA04 , 5F004BB11 , 5F004CA03 , 5F004CB05

引用特許：

出願人引用 (1件)

高周波電源
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-052763 出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (1件)

高周波電源
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-052763 出願人：日本電子株式会社

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