特許
J-GLOBAL ID：200903063200187315
カラーフィルター用フォトマスク及びこれを用いたカラーフィルターの製造方法、製造装置、およびカラーフィルター
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-029422
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212508
出願日： 2006年02月07日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】投影露光装置は露光位置精度や解像度の面で優れているが、初期コストが高いという欠点がある。これに対して近接露光方式は、初期コストは安く済むが、特に解像度が低いという欠点がある。ここに記す技術は、近接露光方法を用いて高解像度を得る露光方法であり、これにより大幅なイニシャルコストダウンを実現する。【解決手段】開口、または遮光マスクパターンの0〜180°の角度をもつコーナー部に、Rを持たせる、または斜めスリット型の補正パターンを外側、または内側に付随させる、もしくは双方の方法を採用することを特徴とし、これによって、近接露光において生じるコーナー部の丸みを回避し、所望のパターンを得ることができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
開口部及び遮光部を含み、この開口部のパターンが0〜180°となる角度のコーナーを有するカラーフィルター用フォトマスクにおいて、
このコーナーにR値が1〜8μmの丸みが形成されていることを特徴とするカラーフィルター用フォトマスク。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2H095BA03
, 2H095BB02
, 2H095BC09
