特許
J-GLOBAL ID：200903063278398479
液材の微量供給方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-263435
公開番号（公開出願番号）：特開2007-075675
出願日： 2005年09月12日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】液材の微量供給方法において、微量の液材を高精度に供給できるようにすること。【解決手段】基板に対向してノズル1を配置し、このノズル1に設けられたノズル孔2から基板の所定の位置に液材を供給する液材の微量供給方法であって、ノズル孔2の吐出側と反対側から毛細管現象により液材4を当該ノズル孔2に充填供給する第1の工程と、ノズル孔2の吐出側と反対側に当該ノズル孔2に入りきらずに残った液材4を掻き取り、当該ノズル孔2内に表面張力により残った一定量の液材4を切り分ける第2の工程と、ノズル孔2内に残った一定量の液材4を外力により基板に滴下させる第3の工程とを有する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板に対向してノズルを配置し、
このノズルに設けられたノズル孔から前記基板の所定の位置に液材を供給する液材の微量供給方法において、
前記ノズル孔の吐出側と反対側から毛細管現象により液材を当該ノズル孔に充填供給する第1の工程と、
前記ノズル孔の吐出側と反対側に当該ノズル孔に入りきらずに残った液材を掻き取り、当該ノズル孔内に表面張力により残った一定量の液材を切り分ける第2の工程と、
前記ノズル孔内に残った一定量の液材を外力により前記基板に滴下させる第3の工程とを有する
ことを特徴とする液材の微量供給方法。
IPC (4件)：
B05D 3/00
, B05D 1/26
, G02F 1/13
, G02F 1/134
B05D3/00 B
, B05D1/26 Z
, G02F1/13 101
, G02F1/1341
2H088FA09
, 2H088FA30
, 2H088MA17
, 2H088MA20
, 2H089NA22
, 2H089NA60
, 2H089QA12
, 2H089QA14
, 2H089QA16
, 4D075AC07
, 4D075AC09
, 4D075AC57
, 4D075AC63
, 4D075AC84
, 4D075AC93
, 4D075AC94
, 4D075AC95
, 4D075CA47
, 4D075DB13
, 4D075DB31
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA07
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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