特許

J-GLOBAL ID：200903063285403275

スタンパー、インプリント方法および情報記録媒体製造方法

発明者： 服部 一博 ,  藤田 実 ,  大川 秀一
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (1件)： 酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-172397
公開番号（公開出願番号）：特開2005-353164
出願日： 2004年06月10日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】所望の横幅の凹部を有する凹凸パターンを高精度に形成し得るスタンパーを提供する。【解決手段】横幅W(W1〜W3)が相違する複数種類の凸部35a1〜35a3,35a,35a・・が表面から突出して凹凸パターン35が形成されて、凹凸パターン35は、横幅Wが狭い凸部35a(凸部35a1)よりも横幅Wが広い凸部35a(凸部35a3)の方がスタンパー20の表面から裏面までの間に規定した基準面Xと凸部35aの先端との間の距離が長くなるように各凸部35a,35a・・が形成されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

横幅が相違する複数種類の凸部が表面から突出して凹凸パターンが形成されて、 前記凹凸パターンは、前記横幅が狭い前記凸部よりも当該横幅が広い前記凸部の方が前記表面から裏面までの間に規定した基準面と当該凸部の先端との間の距離が長くなるように当該各凸部が形成されているインプリント用のスタンパー。

IPC (2件)：

G11B7/26 ,  G11B7/24

FI (4件)：

G11B7/26 531 ,  G11B7/26 501 ,  G11B7/24 561N ,  G11B7/24 565G

Fターム (10件)：

5D029WA31 ,  5D029WB11 ,  5D029WB15 ,  5D121BB21 ,  5D121BB26 ,  5D121DD06 ,  5D121DD07 ,  5D121EE26 ,  5D121EE28 ,  5D121GG10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許5772905号明細書
  

審査官引用 (2件)

• 加工方法、磁気転写方法及び記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-358062   出願人：株式会社東芝
• SOGを用いた室温ナノ-インプリント-リソグラフィー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-293718   出願人：科学技術振興事業団