特許
J-GLOBAL ID:200903063291303819

積層型圧電アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-086448
公開番号(公開出願番号):特開2000-277821
出願日: 1999年03月29日
公開日(公表日): 2000年10月06日
要約:
【要約】【課題】高電圧、高周波で駆動する場合においても、圧電板と電極板との積層体と不活性絶縁体との境界部分に発生する応力を効果的に緩和し、長期信頼性に優れたアクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電板2と、複数の正極用および負極用の電極板3とを交互に積層してなる積層体Aと、正極用の電極板同士および負極用の電極板同士を積層体Aの側面にてそれぞれ接続するための接続部材5とを具備し、且つ積層体Aの上下面に、圧電的に不活性な絶縁体7を接合してなる圧電アクチュエータ1において、積層体Aと不活性絶縁体7とをAgやシリコンゴムなどの弾性率が80GPa以下の低弾性体6を介して接合する。
請求項(抜粋):
複数の圧電板と、複数の正極用および負極用の電極板とを交互に積層してなる積層体と、前記正極用の電極板同士および負極用の電極板同士を前記積層体の側面にてそれぞれ接続するための接続部材とを具備し、且つ前記積層体の上下面に、圧電的に不活性な絶縁体を接合してなる圧電アクチュエータにおいて、前記積層体と前記不活性絶縁体とを弾性率が100GPa以下の低弾性体を介して接合したことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (11件)
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