基板管理装置、基板収納容器、基板収納装置、およびデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-236440
公開番号（公開出願番号）：特開平11-065093
出願日： 1997年08月19日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】基板処理技術における信頼性と効率の向上を図る。【解決手段】基板1の端面にその基板に関連した情報31を記録し、これを読み取る。また、収納されている基板1上に記録された情報31が光学的に読み取られるように、基板収納容器8の一部または全体を透明な部材43で構成する。

請求項（抜粋）：

基板に記録されている情報を読み取る読取手段と、前記情報に基づいて前記基板の管理を行う情報処理手段とを備えた基板管理装置において、前記読取手段は、前記基板の端面に記録されている情報を読み取るものであることを特徴とする基板管理装置。

IPC (3件)：

G03F 1/14 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (3件)：

G03F 1/14 M , H01L 21/68 A , H01L 21/30 502 J

引用特許：

審査官引用 (8件)

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