特許

J-GLOBAL ID：200903063359929487

加速度センサ

発明者： 上▲やなぎ▼勝道
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-035122
公開番号（公開出願番号）：特開平7-245413
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】1個の加速度センサでX,Y,Zの3軸方向の加速度を検出可能にする。【構成】Z軸の第2の固定電極36Zが設けられたシリコン基板30と、この上面に間隔を隔てて設けられ、その上下面がZ軸の可動電極32Zを形成し、その両側面にそれぞれ複数個の電極からなるX軸およびY軸の可動電極32X,32Yが設けられた重り31と、この上面に間隔を隔てて、Z軸の第1の固定電極35Zを形成する上部電極板39と、可動電極32X,32Yの各電極間に設けられたX軸およびY軸の第1の固定電極35X,35Yおよび第2の固定電極36X,36Yと、重り31を3軸方向に変位自在に支持する梁34とで構成する。

請求項（抜粋）：

シリコン基板と、このシリコン基板の上面に間隔を隔てて設けられ、その上面および下面が可動電極(以下Z軸の可動電極と称する)を形成するポリシリコンの四角形の板からなる重りと、この重りの上面に間隔を隔てて設けられ、その下面が固定電極(以下Z軸の第1の固定電極と称する)を形成する上部電極板と、この重りの各角にそれぞれ結合され、この重りを横方向,奥行方向および上下方向(以下X軸方向,Y軸方向およびZ軸方向と称する)に変位自在に支持するポリシリコンの梁と、この重りのY軸方向の側面にこの側面に対し直角方向に間隔をおいて設けられたポリシリコンの複数個の電極からなるX軸の可動電極と、この重りのX軸方向の側面にこの側面に対し直角方向に間隔をおいて設けられたポリシリコンの複数個の電極からなるY軸の可動電極と、この重りの下面のZ軸の可動電極に対向して前記シリコン基板の上面に設けられたZ軸の第2の固定電極と、X軸の可動電極の各電極の間に、その一方の電極およびその他方の電極にそれぞれ間隔を隔てて設けられたポリシリコンの複数個の電極からなるX軸の第1の固定電極および第2の固定電極と、Y軸の可動電極の各電極の間に、その一方の電極およびその他方の電極にそれぞれ間隔を隔てて設けられたポリシリコンの複数個の電極からなるY軸の第1の固定電極および第2の固定電極とからなることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

H01L 29/84 ,  G01P 15/125

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 3軸加速度計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-301708   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
• 特開平4-326033
  
• 特開昭59-044875