特許
J-GLOBAL ID：200903063371486868
微小冷陰極管及び微小冷陰極管の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242786
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092297
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】従来困難であった、モールド法によるゲート付きダイヤモンド冷陰極を実現する。【解決手段】凸状冷陰極とその近傍に絶縁配置された制御電極とを有する微小冷陰極管において、該凸状冷陰極として、ダイヤモンド及びダイヤモンドライクカーボン系材料を用いるとともに、該冷陰極が熱チッ化Si層を介して該制御電極と絶縁されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
凸状冷陰極とその近傍に絶縁配置された制御電極とを有する微小冷陰極管において、該凸状冷陰極として、ダイヤモンド及びダイヤモンドライクカーボン系材料を用いるとともに、該冷陰極が熱窒化Si層を介して該制御電極と絶縁されていることを特徴とする微小冷陰極管。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 1/30 F
, H01J 9/02 B
