特許
J-GLOBAL ID：200903063411885639
共焦点光学系
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大中 実
, 喜多 俊文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-230369
公開番号（公開出願番号）：特開2008-052177
出願日： 2006年08月28日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：
【課題】本発明は、Z軸の機械的駆動なくし、かつ光学収差もない共焦点光学系を有するレーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明では、半導体レーザ1のレーザ光は、ピンホール3を通過するように集光レンズ2で集光される。ピンホール3から出たレーザ光は広がりながら、X、Y、Z方向走査用液晶ゾーンプレート5を通過した後、対物レンズ6に入射する。対物レンズ2から出射する光は3次元的に試料表面を走査される。レーザ光は、同一光学系を通ってビームスプリッタ4で90度に反射して、ピンホール8に集光され、光センサ9に入る。このとき試料表面に焦点が一致したときにのみピンホール9を通過することになるので、XYZ走査した表面上のピントのあったところの位置を知ることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
サンプル面上に照射されたビームスポットからの反射/散乱光を光学系の結像面に置かれたピンホールを通して検出する共焦点光学系であって、光学系が、少なくとも照射系のピンホールから出た光を結像する結像レンズ、結像したコリメート光を試料に照射する対物レンズ、試料からの反射/散乱光を前記対物レンズ、結像レンズを通過した後、検出系のピンホールに通過させるビームスプリッタからなり、前記結像レンズがフレネルゾーンプレートであることを特徴とする共焦点光学系。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (24件)：
2F065AA04
, 2F065DD02
, 2F065FF01
, 2F065FF10
, 2F065GG06
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ09
, 2F065LL04
, 2F065LL10
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065UU07
, 2H052AA08
, 2H052AB01
, 2H052AB24
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC29
, 2H052AC34
, 2H052AF02
出願人引用 (3件)
-
共焦点レーザ顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-053449
出願人：横河電機株式会社
-
光学顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-104437
出願人：三洋電機株式会社
-
立体形状計測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-275060
出願人：株式会社高岳製作所
審査官引用 (7件)
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