特許

J-GLOBAL ID：200903063428213952

リソグラフ印刷要素のための単相現像液

発明者： ランドロ・カステイーロウ・サントス ,  ルイージ・アマリツテイ
出願人/特許権者： イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291380
公開番号（公開出願番号）：特開平5-216243
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 リソグラフ印刷要素のための現像液に関する。【構成】 この現像液は脂肪族環状カーボネート約5〜50%、水約20〜80%、親水性剤約0〜20%および第4アンモニウム化合物約0〜60%を含んでなるものである。

請求項（抜粋）：

(a) 以下の式を有する脂肪族環状カーボネートの約5〜50%;【化1】式中、nは0〜2の整数であり、Z1、Z2、Z3およびZ4は各々水素、C1〜C3のアルキル、ヒドロキシアルキル、クロロアルキル、塩素、ヒドロキシルおよびフェニルよりなる群から独立的に選ばれるものである、(b) 前記カーボネートの水溶性を増加させるのに効果的な親水性剤約0〜20%;(c) 第4アンモニウム化合物約0〜60%;および(d) 水約20〜80%、(ここで前記各%は現像液の全重量を基準にした重量%である)からなる、サブトラクティブ法のリソグラフ印刷要素のための単相現像液。

IPC (2件)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/00 503

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 水なし平版印刷版の製版方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-293169   出願人：東レ株式会社
• ホトレジストの現像およびストリップ用溶剤組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-234366   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 特表平3-505339