特許
J-GLOBAL ID：200903063434721064
耐食性部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201563
公開番号（公開出願番号）：特開平10-045467
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【課題】従来から用いられているガラス、石英、ステンレス、アルミナ、AlNの焼結体は、フッ素系プラズマに対して十分な耐食性を示さず、焼結体においては、腐食が徐々に進行して焼結体の表面から結晶粒子の脱粒が生じ、パーティクルが発生するなどの問題があった。【解決手段】CF4 やSF4 などのフッ素系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位を、Y、La、Ce、Nd、Dyなどの周期律表3a族金属と、Al及び/又はSiを含む複合酸化物、例えば、3Y2 O3 ・5Al2 O3 、2Y2 O3 ・Al2 O3 、Y2 O3 ・Al2 O3 、ダイシリケート、モノシリケートなどの焼結体などにより構成する。
請求項（抜粋）：
フッ素系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位が,周期律表3a族金属と、Al及び/又はSiを含む複合酸化物からなることを特徴とする耐食性部材。
IPC (7件)：
C04B 35/44
, B01J 19/02
, C04B 35/00
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, C23C 16/50
C04B 35/44
, B01J 19/02
, C23F 4/00 A
, H01L 21/205
, C23C 16/50
, C04B 35/00 H
, H01L 21/302 B
