特許
J-GLOBAL ID：200903063436517359
マイクロ構造体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-398780
公開番号（公開出願番号）：特開2005-153124
出願日： 2003年11月28日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】 パウダーブラスト法を用いて複数の円錐形状を有するマイクロ構造体の製造方法を提供する。【解決手段】 パウダーブラスト法によるマイクロ構造体の製造方法において、被加工材表面上に金属微粒子分散液を含むポリウレタン樹脂組成物からなるマスク材を形成し、前記マスク材の少なくとも一部に格子状微細パターンに従ってレーザ光を照射することによって、前記格子状微細パターンに従った凹部と前記凹部以外の孤立した複数の島状部からなる微細パターンを形成し、前記各島状部の略中央部のみを残して周辺部が摩滅するような条件でパウダーブラスト加工し、前記各島状部を除去することを特徴とするマイクロ構造体の製造方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
パウダーブラスト法によるマイクロ構造体の製造方法において、
被加工材表面上に金属微粒子分散液を含むポリウレタン樹脂組成物からなるマスク材を形成し、
前記マスク材の少なくとも一部に格子状微細パターンに従ってレーザ光を照射することによって、前記格子状微細パターンに従った凹部と前記凹部以外の孤立した複数の島状部からなる微細パターンを形成し、
前記各島状部の略中央部のみを残して周辺部が摩滅するような条件でパウダーブラスト加工し、
前記各島状部を除去することを特徴とするマイクロ構造体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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