特許
J-GLOBAL ID：200903063454609961
拡散反射板の製造方法及び反射型表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-076699
公開番号（公開出願番号）：特開平11-259018
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 拡散効率が高く所望の指向性を備えた拡散反射板の製造方法を提供する。【解決手段】 まず、基板2の上に感光性を有する樹脂膜11を形成する。次に、フォトリソグラフィにより樹脂膜11をパタニングして離散的に配された四角柱の集合を設ける。続いて、加熱処理を施して、個々の四角柱をなだらかに変形する。更に、変形した四角柱の集合の上に樹脂12を塗工し、離散的に配された各四角柱の間の平坦な隙間2aを埋めて湾曲化する。最後に、なだらかに変形した四角柱の集合の上に金属膜13を形成する。
請求項（抜粋）：
基板の上に感光性を有する樹脂膜を形成する工程と、フォトリソグラフィにより該樹脂膜をパタニングして離散的に配された四角柱の集合を設ける工程と、加熱処理を施して、個々の四角柱をなだらかに変形する工程と、なだらかに変形した四角柱の集合の上に金属膜を形成する工程とを行なう拡散反射板の製造方法。
引用特許：
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