特許
J-GLOBAL ID:200903063517106469

エッチング部品の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-057069
公開番号(公開出願番号):特開平8-253878
出願日: 1995年03月16日
公開日(公表日): 1996年10月01日
要約:
【要約】【目的】エッチング部品を製造する方法に係わり、特に、高温高圧エッチング法で金属素材をエッチングする方法に関する。【構成】エッチング部品の製造方法において、金属素材表面に所定のパターンに従って一部金属素材表面を露出させたエッチング液に対し耐蝕性を持つ金属メッキ層を形成する工程と、液温が70〜 100°C、ボーメ濃度が50以上、液圧が 3〜10Kgf/cm2 とした高温高圧エッチング法にてエッチング液を該金属素材に接触させることにより該金属メッキ層より露出した該金属素材部位に選択的にエッチングを行う工程とを有し、該金属メッキ層はエッチング工程後剥離せずそのまま残すことを特徴とするエッチング部品の製造方法。
請求項(抜粋):
エッチング部品の製造方法において、金属素材表面に所定のパターンに従って一部金属素材表面を露出させたエッチング液に対し耐蝕性を持つ金属メッキ層を形成する工程と、液温が70〜 100°C、ボーメ濃度が50以上、液圧が 3〜10 Kgf/cm2 とした高温高圧エッチング法にてエッチング液を該金属素材に接触させることにより該金属メッキ層より露出した該金属素材部位に選択的にエッチングを行う工程とを有し、該金属メッキ層はエッチング工程後剥離せずそのまま残すことを特徴とするエッチング部品の製造方法。
IPC (5件):
C23F 1/00 ,  C23F 1/00 102 ,  H01J 9/14 ,  H01L 23/50 ,  H05K 3/06
FI (5件):
C23F 1/00 C ,  C23F 1/00 102 ,  H01J 9/14 G ,  H01L 23/50 A ,  H05K 3/06 K
引用特許:
審査官引用 (4件)
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