単一モード光導波路及びその製造方法並びにそれを用いた光モジュール

発明者： , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-166214
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014846
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】位置合わせ用インデックス、フィルタ挿入用細溝等の位置精度が高く、しかも小型で、クラッドモードの反射ポートへの漏れ込みを防止できる単一モード光導波路及びその製造方法並びにそれを用いた光モジュールを提供する。【解決手段】発光素子22及び受光素子19をマウントするためのベンチ25を基板11上に形成し、基板11上のベンチ25,42a,46以外の部分にバッファ層27を形成し、バッファ層27上に両素子22,19との光軸合わせのための高さ調整層28を形成し、高さ調整層28上に導波路コア12を形成し、ベンチ25に両素子19,22のアライメント用インデックスを形成し、そのインデックスが形成された基板11上にクラッド層13を形成し、クラッド層13にベンチ25,42a,46を露出させるための深溝を形成し、ベンチ25上に発光素子22への電流供給と受光素子19からの電流を取り出すための電極39〜41を形成することにより単一モード光導波路が得られる。

請求項（抜粋）：

基板上に単一モードの光導波路素子を形成した単一モード光導波路において、発光素子及び受光素子をマウントするためのベンチが基板の表面に形成され、該基板上のベンチ以外の部分にバッファ層が形成され、該バッファ層上に上記発光素子及び上記受光素子との光軸合わせのための高さ調整層が形成され、該高さ調整層上に導波路コアが形成され、上記ベンチに上記発光素子及び上記受光素子のアライメント用インデックスが形成され、上記高さ調整層上及び導波路コア上にクラッド層が形成され、上記ベンチ上に上記発光素子への電流供給と上記受光素子からの電流を取り出すための電極が形成されていることを特徴とする単一モード光導波路。

IPC (3件)：

G02B 6/122 , G02B 6/13 , G02B 6/42

FI (3件)：

G02B 6/12 B , G02B 6/42 , G02B 6/12 M

引用特許：

審査官引用 (5件)

光アセンブリ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-221433 出願人：株式会社日立製作所, 日立電線株式会社, 日立東部セミコンダクタ株式会社
光送受信モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-003335 出願人：日本電信電話株式会社
光集積回路及び光ファイバジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-327972 出願人：株式会社トキメック

全件表示

前のページに戻る