特許

J-GLOBAL ID：200903063555490876

レーザ加工装置

発明者： 福智 昇央 ,  伊ケ崎 泰則 ,  原 勉 ,  晝馬 輝夫
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-327386
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272636
出願日： 2000年10月26日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 0次光をカットしターゲットに所望の光学画像のみ照射して加工を施すことが可能なフーリエ変換を用いたレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 本発明のレーザ加工装置10は、空間光変調器20と、空間光変調器20にホログラムパターンを書き込むためのホログラムパターン書き込み手段40と、空間光変調器20に読み出し光を入射するための投光手段50と、空間光変調器20によって位相変調された読み出し光をフーリエ変換するためのフーリエレンズ60と、フーリエレンズ60からターゲットTに至る読み出し光の光路上に配置される0次光をカットするための遮蔽手段70と、を備える。

請求項（抜粋）：

空間光変調器と、前記空間光変調器にホログラムパターンを書き込むためのホログラムパターン書き込み手段と、前記空間光変調器に読み出し光を入射するための投光手段と、前記空間光変調器によって位相変調された前記読み出し光をフーリエ変換するためのフーリエレンズと、前記フーリエレンズからターゲットに至る前記読み出し光の光路上に配置される0次光をカットするための遮蔽手段と、を備えることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (6件)：

G02B 27/46 ,  B23K 26/00 ,  G02B 5/00 ,  G03H 1/16 ,  G03H 1/26 ,  H01S 3/00

FI (6件)：

G02B 27/46 ,  B23K 26/00 B ,  G02B 5/00 B ,  G03H 1/16 ,  G03H 1/26 ,  H01S 3/00 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-192577   出願人：浜松ホトニクス株式会社, リソナショナルラボラトリー
• 光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-031767   出願人：シチズン時計株式会社