特許

J-GLOBAL ID：200903063578170259

レーザーダイシングシートおよびレーザーダイシング方法

発明者： 高橋 和弘 ,  吉柳 秀二 ,  小池 洋
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-062553
公開番号（公開出願番号）：特開2006-245487
出願日： 2005年03月07日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】 レーザーダイシングにおいて、レーザー光によるチャックテーブルの損傷およびダイシングシートのチャックテーブルへの融着を防止し、しかも、エキスパンドおよびピックアップを容易に行うことができるレーザーダイシングシートおよびそれを用いたレーザーダイシング方法を提供すること。【解決手段】 エキスパンドフィルムとその上に積層された粘着剤層とからなるワーク固定用シートと、該ワーク固定用シートのエキスパンドフィルム側の面に剥離可能に積層された保護用フィルムと、からなる、厚さが300μm以上のレーザーダイシングシート。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

エキスパンドフィルムとその上に積層された粘着剤層とからなるワーク固定用シートと、 該ワーク固定用シートのエキスパンドフィルム側の面に剥離可能に積層された保護用フィルムと、からなる、 厚さが300μm以上のレーザーダイシングシート。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  C09J 201/00

FI (6件)：

H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  H01L21/78 X ,  H01L21/78 B ,  H01L21/78 Q

Fターム (16件)：

4J004AA04 ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AA15 ,  4J004AB01 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040CA011 ,  4J040DF001 ,  4J040ED001 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ダイシングシート及びダイシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-148273   出願人：リンテック株式会社