有機/金属酸化物複合薄膜の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-056654
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249985
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】極めて薄い金属酸化物薄膜と有機化合物薄膜とからなる有機/金属酸化物複合薄膜を、厚み精度良く、且つ確実に形成し得る製造方法を提供する。【解決手段】水酸基またはカルボキシル基を有する固体表面に、該固体の水酸基またはカルボキシル基と縮合反応し且つ加水分解により水酸基を生成し得る基を有する金属化合物を接触させることにより該金属化合物を化学吸着させ、次いで、過剰の金属化合物を除去した後、上記固体表面に存在する金属化合物を加水分解して金属酸化物薄膜を形成させ、さらに、形成された金属酸化物薄膜の表面に、該金属酸化物薄膜表面に化学吸着し得る有機化合物を接触させ、過剰の有機化合物を除去する。

請求項（抜粋）：

水酸基またはカルボキシル基を有する固体表面に、該固体の水酸基またはカルボキシル基と縮合反応し且つ加水分解により水酸基を生成し得る基を有する金属化合物を接触させることにより該金属化合物を化学吸着させ、次いで、過剰の金属化合物を除去した後、上記固体表面に存在する金属化合物を加水分解して金属酸化物薄膜を形成させ、さらに、必要に応じて形成された金属酸化物薄膜の表面上に上記金属酸化物薄膜を形成させる操作を1回以上施した後、表面層を構成する金属酸化物薄膜の表面に、該金属酸化物薄膜表面に化学吸着し得る有機化合物を接触させ、過剰の有機化合物を除去することで有機化合物薄膜を形成させることを特徴とする有機/金属酸化物複合薄膜の製造方法。

IPC (11件)：

B32B 9/00 , B01J 19/00 , C09K 3/00 , C23C 22/00 , C23C 26/00 , G02B 1/10 , C09D103/02 , C09D129/04 , C09D133/02 , C09D177/04 , H03H 3/02

FI (11件)：

B32B 9/00 A , B01J 19/00 K , C09K 3/00 C , C23C 22/00 Z , C23C 26/00 A , C09D103/02 , C09D129/04 Z , C09D133/02 , C09D177/04 , H03H 3/02 B , G02B 1/10 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

化学吸着膜ガラスとその製造法および化学吸着膜ガラスを有する調理器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-132954 出願人：松下電器産業株式会社

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