特許

J-GLOBAL ID：200903063618567955

膜厚計測方法及び装置

発明者： 黒田 雅博 ,  笹川 英四郎 ,  上野 茂一 ,  宮園 直之
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269339
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075126
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】 表面に凹凸がある場合にも、オンラインで正確に測定することができる膜厚の計測方法及び装置を得る。【解決手段】 本発明の膜厚計測装置(1)は、測定すべき膜に、第1波長の光を照射する第1光源(2)と、入射すべき第1波長の光の強度を測定する第1入射光受光器(8)と、透過した第1波長の光の強度を測定する第1透過光受光器(8)と、入射すべき第1波長の光の強度と透過した光の強度の比である第1の比を求める第1比較器と、第1の波長とは異なる第2波長の光を照射する第2光源(4)と、入射すべき第2波長の光の強度を測定する第2入射光受光器(10)と、透過した第2波長の光の強度を測定する第2透過光受光器(10)と、入射すべき第2波長の光の強度と透過した光の強度の比である第2の比を求める第2比較器と、第1の比と第2の比に基づいて膜厚を求めるための膜厚計算器(12)と、を有することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

膜厚の計測方法において、前記膜に入射すべき第1波長の光の強度を測定する段階と、膜厚を測定すべき膜に、前記第1波長の光を照射する段階と、前記膜を透過した前記第1波長の光の強度を測定する段階と、前記膜に入射すべき前記第1波長の光の強度と前記膜を透過した前記第1波長の光の強度の比である第1の比を求める段階と、前記膜に入射すべき、第1の波長とは異なる第2波長の光の強度を測定する段階と、前記第2波長の光を前記膜に照射する段階と、前記膜を透過した前記第2波長の光の強度を測定する段階と、前記膜に入射すべき前記第2波長の光の強度と前記膜を透過した前記第2波長の光の強度の比である第2の比を求める段階と、前記第1の比と前記第2の比に基づいて前記膜の膜厚を求める段階と、を有することを特徴とする膜厚の計測方法。

Fターム (27件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB23 ,  2F065CC17 ,  2F065DD06 ,  2F065DD11 ,  2F065FF46 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL02 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065RR05 ,  2F065RR07 ,  2F065RR09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-313007
  
• 特開平1-182712
  
• 膜厚測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-282188   出願人：大日本スクリーン製造株式会社