特許
J-GLOBAL ID:200903063624129722
有機光導波路および光モジュールおよび光集積回路
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
作田 康夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-369143
公開番号(公開出願番号):特開2001-183539
出願日: 1999年12月27日
公開日(公表日): 2001年07月06日
要約:
【要約】【課題】有機光導波路を形成する絶縁膜と基板1との熱膨張係数差が大きい光導波路の信頼性を向上する。【解決手段】樹脂9が基板1と下部クラッド2とコア3と上部クラッド4の各々に接する構造をとらせる。
請求項(抜粋):
有機光導波路が、下から順に下部クラッド、コア、上部クラッドをそれぞれ基板上に積層して形成されたものであり、下部クラッド、コア、上部クラッドを構成する絶縁膜の熱膨張係数が基板の熱膨張係数よりも大きく、その差が2.5×10-5(/°C)以上であり、さらに下部クラッド、コア、上部クラッドを構成する絶縁膜の膜厚が10μm以上であり、さらに樹脂が基板、下部クラッド、コア、上部クラッドの全てに接する構造を持つことを特徴とする有機光導波路。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B 6/12 A
, G02B 6/12 N
Fターム (11件):
2H047KA04
, 2H047KA15
, 2H047MA05
, 2H047MA07
, 2H047PA02
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047QA07
, 2H047TA00
引用特許:
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