特許
J-GLOBAL ID：200903063643522427
磁気力顕微鏡
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-156112
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352138
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーをその共振周波数以下の周波数で振動させ、プローブと試料が周期的に接触と離脱を繰り返すようにしながら走査することによってプローブと試料との間に働く磁気力の絶対値を測定しその分布を画像化し、さらに、その磁気力の面内での分布だけでなくプローブと試料との距離に対する磁気力の分布を測定可能な磁気力顕微鏡を提供する。【解決手段】 カンチレバーまたは試料をカンチレバーの共振周波数以下で、試料表面に対して垂直に振動させてプローブと試料が周期的に接触と離脱を繰り返すように走査させる。このとき、プローブに働く最大斥力を設定した値に保つように制御することによって試料のトポグラフィーを得ることができる。また、走査中のカンチレバーのたわみ信号を記録することによってプローブと試料表面間に働く磁気力の分布を画像化することができる。
請求項（抜粋）：
カンチレバ-とプロ-ブを有し、カンチレバーに取り付けられた磁気に対して感応するプローブの先端が試料の表面を走査するときに、プローブの位置に対して試料表面の状態を反映するデータを収集する磁気力顕微鏡において、前記プローブまたは試料を前記カンチレバーの共振周波数以下の周波数で振動させて前記プローブと前記試料を周期的に接触させながら試料表面を走査することによって、前記試料表面の形状に関する情報に加えて、前記試料表面の磁性を表す情報を取得し同時に画像化することを特徴とする磁気力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 H
, G01B 7/30 Z
, H01J 37/28 X
