ポジ型感光性組成物

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334291
公開番号（公開出願番号）：特開平7-199464
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【構成】ポジ型感光性組成物であって、(a)多価フェノール含有ノボラック樹脂の1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル化合物、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物および(d)550〜650nmの範囲に吸収極大を有し、かつ、酸により変色する色素を含有し、かつ、画像露光前に下記式[I]を満足することを特徴とする。【数1】【効果】感度および露光可視画性に優れたポジ型感光性平版印刷版やフォトレジスト等を得ることができ、工業的価値が極めて大きい。

請求項（抜粋）：

ポジ型感光性組成物であって、(a)多価フェノール含有ノボラック樹脂の1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル化合物、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物および(d)550〜650nmの範囲に吸収極大を有し、かつ、酸により変色する色素を含有し、かつ、画像露光前に下記式[I]を満足することを特徴とするポジ型感光性組成物。【数1】

IPC (6件)：

G03F 7/023 501 , G03F 7/023 511 , G03F 7/00 503 , G03F 7/004 507 , G03F 7/028 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (13件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-233241 出願人：三菱化成株式会社, コニカ株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-014069 出願人：三菱化成株式会社, コニカ株式会社
特開平4-069661

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