イオンビーム発生装置、イオンビーム発生方法、イオン処理装置およびイオン処理方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-305260
公開番号（公開出願番号）：特開2004-139913
出願日： 2002年10月21日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】構造が簡素化された装置で、長時間、安定したイオンビームを発生させることが可能で、かつ高純度のイオンビームを発生させることができるイオンビーム発生装置、イオンビーム発生方法、イオン処理装置およびイオン処理方法を提供すること。【解決手段】イオンビーム発生装置1は、イオン化部10およびイオン引出・加速部20を含んで構成され、イオン化部10が、固体原料11を収容する固体原料収容手段12、固体原料11を加熱する固体原料加熱手段13および固体原料11の蒸気をイオン化する放電手段19を含み、放電手段19が、固体収容手段12により形成された陰極15と、固体収容手段の上方に設けられた陽極16と、陰極15と陽極16との間に電流を供給する直流電源16とを含む。また、イオン処理装置は、イオンビーム発生装置1、質量分離器、および成膜部またはイオン注入部を含んで構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固体原料をイオン化するイオン化部および該イオン化部からイオンを引き出して加速するイオン引出・加速部を含んで構成されたイオンビーム発生装置において、前記イオン化部が、固体原料を収容する固体原料収容手段、前記固体原料を加熱する固体原料加熱手段および前記固体原料の蒸気をイオン化する放電手段を含み、該放電手段が、前記固体収容手段により形成された陰極と、前記固体収容手段の上方に設けられた陽極と、前記陰極と前記陽極との間に電流を供給する直流電源とを含んで構成されていることを特徴とするイオンビーム発生装置。

IPC (4件)：

H01J27/08 , C23C14/46 , H01J37/08 , H01L21/265

FI (4件)：

H01J27/08 , C23C14/46 , H01J37/08 , H01L21/265 603A

Fターム (9件)：

4K029BD01 , 4K029DE00 , 4K029DE01 , 4K029DE02 , 4K029DE05 , 5C030DD05 , 5C030DE01 , 5C030DE06 , 5C030DE09

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-306540
特開平2-155148
特表平4-503889

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