特許

J-GLOBAL ID：200903063696789506

フィルタテスト用シリカエアロゾル

発明者： 瀧澤 清一 ,  浅田 瑞穂 ,  桜井 芳夫
出願人/特許権者： 日本ケンブリッジ・フィルター株式会社
代理人 (1件)： 山崎 行造 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-171644
公開番号（公開出願番号）：特開平9-002812
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】 半導体製品等の諸特性に影響を与えることがなく、また、ナトリウム等の化合物がエアフィルタへ付着することがなく、安全性の高いフィルタテスト用のシリカエアロゾルを提供すること。【構成】 気相で生成したシリカ粒子を空気中に分散させてフィルタテスト用シリカエアロゾルとした。気相で生成した無水シリカ粒子を直接空気中に分散させるか、気相で生成したシリカ粒子を一旦水相に分散させてシリカ粒子分散液とし、該シリカ粒子分散液を噴霧、乾燥して空気中に分散させる。

請求項（抜粋）：

気相で生成したシリカ粒子を空気中に分散させたことを特徴とするフィルタテスト用シリカエアロゾル。

IPC (4件)：

C01B 33/14 ,  B01J 13/00 ,  G01N 33/00 ,  G01N 1/36

FI (4件)：

C01B 33/14 ,  B01J 13/00 G ,  G01N 33/00 Z ,  G01N 1/28 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• フィルタの試験方法及びそれに用いる微粒子の発生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-163442   出願人：沖電気工業株式会社
• エアーフィルタのリーク検査方法およびそのエアーフィルタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-271359   出願人：ニッタ株式会社