特許
J-GLOBAL ID：200903063698131770
モニタリングシステムおよびモニタリング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-227354
公開番号（公開出願番号）：特開2008-065821
出願日： 2007年09月03日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
【課題】工程の動作を示すプロセス計測に関して工程を制御するための処理工程制御システムを備える処理工場内の工程の動作をオンライン上でモニタリングする。【解決手段】本開示[発明]は、工程の動作を示すプロセス計測に関連する工程動作をオンライン上でモニタリングするためのシステムおよび方法である。場合によって、工程の動作の模擬表現を示し且つそのプロセス計測に基づいたモデル・データを生成するために、工程の動作のシミュレーションが行われる。工程動作の多変量統計分析がモデル・データおよびプロセス計測に基づいて実施され、その次に、多変量統計分析から送信される出力データが工程作動中に評価されることにより、例えば、出力データの分類分析による異常検出を伴う工程のオンライン・モニタリングが可能になる。【選択図】図15
請求項（抜粋）：
工程の動作を示すプロセス計測に関して工程を制御するための処理工程制御システムを備える処理工場内の工程の動作をオンライン上でモニタリングするためのシステムにおいて、
工程の動作に関する模擬表現を示すモデル・データを生成するために処理工場内の複数の物理デバイスをモデル化するための工程シミュレーション・モジュールと、
モデル・データおよびプロセス計測に基づいて工程動作の多変量統計分析を実施するための分析モジュールと、
工程シミュレーション・モジュールおよび分析モジュールのそれぞれのコンフィギュレーションを格納するコンピュータ読取り可能な一つ又は複数のメディアと、
処理工程制御システムとの通信に基づいて工程作動中に工程をオンライン上でモニタリングすることを可能にするために、工程シミュレーション・モジュールおよび分析モジュールのそれぞれのコンフィギュレーションを実施するためのコンピュータにより実行可能な1台以上の実行エンジンと、
から成るシステム。
IPC (3件)：
G05B 23/02
, G06F 19/00
, G06Q 50/00
G05B23/02 V
, G06F19/00 110
, G06F17/60 108
5H223AA01
, 5H223BB01
, 5H223CC01
, 5H223DD07
, 5H223DD09
, 5H223EE08
, 5H223EE11
, 5H223FF05
出願人引用 (6件)
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米国特許第6,633,782号明細書
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米国特許出願公開第2004/0153804号明細書
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米国特許出願公開第2004/0075689号明細書
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米国特許出願公開第2004/0199925号明細書
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米国特許第6,385,496号明細書
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米国特許第5,680,409号明細書
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審査官引用 (3件)
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