特許
J-GLOBAL ID：200903063728273523
微量標準ガス用圧力調整器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162952
公開番号（公開出願番号）：特開平11-338551
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 二次減圧機構の調整弁のシールとスリーブとの平行度を良好にし、ガスシール性および測定圧力精度を向上し、二次圧室の圧力値の経時変化をなくす。【解決手段】 一次側流路2に接続された一次圧室3と、二次側流路4に接続された二次圧室5と、一次圧室3と二次圧室5との間に隔壁7,8を介して設けられ、隔壁7,8に形成された2個の弁口9,10により両圧室3,5に連通した調圧室6と、一次圧室3から調圧室6への流通を調整する一次側調整弁13と、調圧室6から二次圧室5への流通を調整する二次側調整弁24と、両調整弁13,24の弁体14,25のそれぞれ設けられ、弁口9,10に接離自在に圧接して弁口9,10を閉塞する両調整弁13,24のシート16,30とを備え、両調整弁13,24のうち少なくとも二次側調整弁24のシート30にフッ素系エラストマーを使用する。
請求項（抜粋）：
一次側流路に接続された一次圧室と、二次側流路に接続された二次圧室と、前記一次圧室と前記二次圧室との間に隔壁を介して設けられ,前記隔壁に形成された2個の弁口により前記両圧室に連通した調圧室と、前記一次圧室から前記調圧室への流通を調整する一次側調整弁と、前記調圧室から前記二次圧室への流通を調整する二次側調整弁と、前記両調整弁の弁体にそれぞれ設けられ,前記弁口に接離自在に圧接して前記弁口を閉塞する前記両調整弁のシートとを備え、前記両調整弁のうち少なくとも前記二次側調整弁のシートにフッ素系エラストマーを使用したことを特徴とする微量標準ガス用圧力調整器。
FI (2件)：
G05D 16/06 Z
, G05D 16/06 C
