特許
J-GLOBAL ID:200903063736174810

角速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-072150
公開番号(公開出願番号):特開平11-271062
出願日: 1998年03月20日
公開日(公表日): 1999年10月05日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、角速度を検出する音叉振動子を用いた角速度センサに関するものであり、小型でデッドスペースが少ない角速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 駆動用電極を有する第一のアームと検出用電極を有する第二のアームおよびそれら第一、第二のアームの一端に配した共通の基部とを圧電体で一体に構成した音叉振動子16を、その基部に設けた支持台19によりベース12に平行配置され、上記の各電極をベース12に設けた端子13に電気的に接続した。
請求項(抜粋):
駆動用電極を有する第一のアームと検出用電極を有する第二のアームおよびそれら第一、第二のアームに一端に配した共通の基部とを圧電体で一体に構成した音叉振動子を、その基部の平面に設けた支持台によりベースに平行配置され、上記の各電極をベースに設けた端子に電気的に接続した角速度センサ。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
審査官引用 (3件)

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