特許
J-GLOBAL ID:200903063807549429
吐出方法及び吐出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-310459
公開番号(公開出願番号):特開2001-129461
出願日: 1999年11月01日
公開日(公表日): 2001年05月15日
要約:
【要約】【課題】 連続吐出を行っても、吐出量の減少を抑え安定した液状物質の吐出が行える吐出方法および吐出装置を提供する。【解決手段】 液状物質1が入った容器2aの内部圧力を加圧手段5によって上げて液状物質1を容器2aの吐出部3より一定量づつ押し出す吐出装置であって、液状物質1が入った第1の容器2aと加圧手段5との間に第2の容器6を接続して加圧手段5の圧力が第1,第2の容器に作用するように構成する。
請求項(抜粋):
液状物質が入った容器の内部圧力を加圧手段によって上げて前記液状物質を容器の吐出部より一定量づつ押し出す吐出装置であって、前記液状物質が入った第1の容器と加圧手段との間に第2の容器を接続して前記加圧手段の圧力が第1,第2の容器に作用するように構成した吐出装置。
IPC (3件):
B05C 5/00 101
, B05D 1/26
, H01L 21/52
FI (3件):
B05C 5/00 101
, B05D 1/26 Z
, H01L 21/52 G
Fターム (12件):
4D075AC07
, 4D075AC95
, 4D075CA48
, 4D075DB11
, 4D075DC22
, 4D075EA35
, 4F041AA06
, 4F041BA10
, 4F041BA34
, 5F047BB11
, 5F047BB16
, 5F047FA22
引用特許:
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