特許
J-GLOBAL ID：200903063825233374
多結晶MgO蒸着材及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-104281
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291854
出願日： 1997年04月22日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】電子ビーム蒸着法にて蒸着しても、スプラッシュが殆ど発生せずかつ成膜されるMgO膜の厚さを略均一に形成できる。【解決手段】本発明の多結晶MgO蒸着材はMgO純度が99.5%以上かつ相対密度が97%以上の多結晶MgOの焼結体ペレットからなる。またこの焼結体ペレットの平均結晶粒径は1〜100μmであり、焼結体ペレットの結晶粒内に平均内径2μm以下の丸みを帯びた気孔を有する。更に多結晶MgOの焼結体ペレットに含まれる、Si及びAlの不純物がそれぞれ元素濃度で150ppm以下、Caの不純物が元素濃度で200ppm以下、Feの不純物が元素濃度で50ppm以下、Cr,V及びNiの不純物がそれぞれ元素濃度で10ppm以下、Na及びKの不純物がそれぞれ元素濃度で20ppm以下、Cの不純物が元素濃度で70ppm以下、Zrの不純物が元素濃度で150ppm以下である。
請求項（抜粋）：
MgO純度が99.5%以上かつ相対密度が97%以上の多結晶MgOの焼結体ペレットからなる多結晶MgO蒸着材。
IPC (5件)：
C04B 35/04
, C01F 5/02
, C23C 14/08
, C23C 14/24
, G09F 9/00 342
C04B 35/04 Z
, C01F 5/02
, C23C 14/08 J
, C23C 14/24 N
, G09F 9/00 342 C
