特許
J-GLOBAL ID：200903063844717439

蒸着用マスクの製造方法

発明者：
前岡 淳史

前岡 淳史 について

, 
尾本 貢一

尾本 貢一 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-421720
公開番号（公開出願番号）：特開2005-183153
出願日： 2003年12月18日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】 一般的に使用されている板厚の金属薄板材を用いてフォトエッチング加工によりデルタ配列の蒸着用マスクを製造する場合においても、高い加工精度が得られ、作業性も良好である方法を提供する。【解決手段】 金属薄板材の一方面側からエッチングして、複数の小孔凹部を千鳥格子状に配列して形成し、金属薄板材の他方面側からエッチングして、平面形状が小孔凹部の平面形状とほぼ相似形で小孔凹部より大きい複数の大孔凹部を小孔凹部の形成位置に対応させ千鳥格子状に配列して形成し、このときに、千鳥配置的に隣り合う大孔凹部の外周縁同士が部分的に重なり合うまで金属薄板材をエッチングし、金属薄板材の厚み方向において小孔凹部と大孔凹部とを連通させて複数の透孔を形成する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
金属薄板材の一方面側からエッチングして、複数の小孔凹部を千鳥格子状に配列して形成し、前記金属薄板材の他方面側からエッチングして、平面形状が前記小孔凹部の平面形状とほぼ相似形で小孔凹部より大きい複数の大孔凹部を各小孔凹部の形成位置にそれぞれ対応させ千鳥格子状に配列して形成し、前記金属薄板材の厚み方向において前記各小孔凹部と前記各大孔凹部とをそれぞれ連通させて、蒸着材料を通過させるための複数の透孔を千鳥格子状に配列して形成する蒸着用マスクの製造方法において、 前記金属薄板材に前記大孔凹部を形成するときに、千鳥配置的に隣り合う大孔凹部の外周縁同士が部分的に重なり合うまで金属薄板材をエッチングすることを特徴とする蒸着用マスクの製造方法。
IPC (3件)：
H05B33/10 ,  C23C14/04 ,  H05B33/14
FI (3件)：
H05B33/10 ,  C23C14/04 A ,  H05B33/14 A
Fターム (7件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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