特許
J-GLOBAL ID：200903063863631014
真空ポンプの故障予知システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227509
公開番号（公開出願番号）：特開平11-062846
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置の真空排気系で使用される真空ポンプのケーシング内に析出する生成物によって発生する詰まり故障を事前に予知し、ポンプの交換を喚起することによって、ポンプの突発故障による製品不良の回避、製品の歩留り向上、ポンプのメンテナンスコスト削減を図ることができる真空ポンプの故障予知システムを提供する。【解決手段】 半導体製造装置の真空排気系に使用する真空ポンプのケーシング内部に析出する生成物によって発生する詰まり故障を予知するシステムであって、真空ポンプ1の発生するAE(アコースティックエミッション)を検出するAEセンサ3を少なくとも備えたセンサ部と、センサ部からの信号を解析診断する診断部9とを各真空ポンプ毎に設け、各真空ポンプの状態や診断結果を一括表示する表示部10をLAN上に接続することによって構成した。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置の真空排気系に使用する真空ポンプのケーシング内部に析出する生成物によって発生する詰まり故障を予知するシステムであって、真空ポンプの発生するAE(アコースティックエミッション)を検出するAEセンサを少なくとも備えたセンサ部と、センサ部からの信号を解析診断する診断部とを各真空ポンプ毎に設け、各真空ポンプの状態や診断結果を一括表示する表示部をLAN上に接続することによって構成したことを特徴とする真空ポンプの故障予知システム。
IPC (4件)：
F04B 49/10 331
, F04B 51/00
, F04C 25/02
, G05B 23/02
F04B 49/10 331 B
, F04B 51/00
, F04C 25/02 B
, G05B 23/02 R
