特許

J-GLOBAL ID：200903063871579668

直動機構

発明者： 長谷川 隆二
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (6件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  小林 龍 ,  下道 晶久 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-045694
公開番号（公開出願番号）：特開2006-234003
出願日： 2005年02月22日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：

【課題】 真空状態で利用可能な低発塵型の直動機構を、簡易な構造で実現する。【解決手段】 直動機構1を、案内レール41及びこの案内レール41に沿って移動する可動スライダ42を有する直動ガイドを、開口部23を有する防塵ケース21に収容し、この直動ガイドに案内される可動部43を、防塵ケース21の開口部23内において移動可能に配置し、可動部43を駆動する駆動ベルト38を、防塵ケース21の開口部23を塞ぐように配置して、構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

開口部を有する防塵ケースと、 前記防塵ケース内に固定される案内レール、及び該案内レールに沿って移動する可動スライダを有する直動ガイドと、 前記直動ガイドに案内されて、前記防塵ケースの前記開口部内において移動可能な可動部と、 前記開口部を塞ぎながら前記可動部を駆動する駆動ベルトと、 を備えることを特徴とする直動機構。

IPC (4件)：

F16C 29/08 ,  B65G 49/07 ,  F16C 29/02 ,  F16H 19/02

FI (4件)：

F16C29/08 ,  B65G49/07 D ,  F16C29/02 ,  F16H19/02 A

Fターム (13件)：

3J062AA28 ,  3J062AB12 ,  3J062AC08 ,  3J062BA24 ,  3J104AA44 ,  3J104AA67 ,  3J104AA69 ,  3J104AA74 ,  3J104AA76 ,  3J104AA79 ,  3J104BA63 ,  3J104DA04 ,  3J104EA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 多段ロボットアームを有する搬送装置及び近接露光方式電子ビーム露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-105576   出願人：株式会社東京精密, 住友重機械工業株式会社, 日立那珂エレクトロニクス株式会社