特許
J-GLOBAL ID:200903063891946241
加熱装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡部 健一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-005318
公開番号(公開出願番号):特開2004-221221
出願日: 2003年01月14日
公開日(公表日): 2004年08月05日
要約:
【課題】加熱ゾーンの現在温度が設定温度に対する許容温度の範囲内にあるかを容易に把握できるようにした加熱装置を提供する。【解決手段】加熱装置は、複数の加熱ゾーン1〜5を備え、パソコン12のモニター14の画面に各加熱ゾーン1〜5の現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成してある。そして、加熱ゾーン1〜5の現在温度が、設定温度に対する許容温度範囲外の温度異常になったとき、前記カラー表示が点滅するように構成され、また、各加熱ゾーン1〜5の現在温度が、モニター14画面に棒グラフで表示され、棒グラフに前記カラー表示が現れるように構成されるのが好ましい。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の加熱ゾーンを備え、各加熱ゾーンの温度情報がパソコンのモニター画面に表示されるように構成されている加熱装置であって、前記モニター画面に各加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成されていることを特徴とする加熱装置。
IPC (3件):
H05K3/34
, B23K1/008
, B23K31/02
FI (3件):
H05K3/34 507K
, B23K1/008 C
, B23K31/02 310F
Fターム (6件):
5E319AA01
, 5E319AC01
, 5E319BB05
, 5E319CC36
, 5E319CD51
, 5E319GG20
引用特許:
審査官引用 (2件)
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半導体製造装置の制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-209785
出願人:国際電気株式会社
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特開昭63-318089
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