積層型圧電アクチュエータ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-277434
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121820
出願日： 1997年10月09日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】応答性と信頼性とが両立する積層型の圧電素子を提供する。【解決手段】積層型の圧電素子1は、圧電セラミック2に積層して焼結される内部電極3の組成が、銀70〜50(重量%)-パラジウム30〜50(重量%)の範囲にある銀パラジウム合金材に銀パラジウム合金材と圧電用セラミックス材の総量に対して2〜12(重量%)の範囲にある圧電用セラミックス材を添加したものであり、内部電極3と圧電セラミック2との収縮特性が近づき界面剥離が回避され、内部電極3の抵抗値がほどほどで圧電素子1としての応答性も確保されるものである。

請求項（抜粋）：

圧電用セラミック材を主成分とするグリーンシートと、銀パラジウム合金材を主成分とする内部電極とを交互に積層して焼結した積層型圧電アクチュエータであって、前記内部電極の組成が、銀70〜50(重量%)及びパラジウム30〜50(重量%)の範囲にあることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (3件)：

H01L 41/083 , H01L 41/187 , H02N 2/00

FI (3件)：

H01L 41/08 Q , H02N 2/00 B , H01L 41/18 101 D

引用特許：

審査官引用 (8件)

積層体素子および振動駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-068354 出願人：日本セメント株式会社, キヤノン株式会社
積層型圧電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-195574 出願人：住友金属工業株式会社
圧電素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-016353 出願人：株式会社東芝

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