特許

J-GLOBAL ID：200903063938820268

サーマルインクジェットヘッド

発明者： 関谷 卓朗
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-141663
公開番号（公開出願番号）：特開平7-125206
出願日： 1993年06月14日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【目的】 機械的に脆い性質を持つ単結晶シリコンウエハにより流路基板を作製する場合において、流路用溝が破損しない強度を確保すること。【構成】 蓄熱層と発熱層とこの発熱層に通電するための電極と保護層とを形成した発熱体基板に対して積層させる流路基板3を、(100)面に切出された単結晶シリコンウエハによるものとし、その(100)面に異方性エッチングにより2つの等価な(111)面による側面と1つの(100)面による天井面とで断面台形状となる流路用溝6を形成するとともに、その厚さtをこれらの流路用溝6の深さhの15倍以上とした。

請求項（抜粋）：

蓄熱層と発熱層とこの発熱層に通電するための電極と保護層とを形成した発熱体基板と、(100)面に切出された単結晶シリコンウエハ上に異方性エッチングにより2つの等価な(111)面による側面と1つの(100)面による天井面とで断面台形状となる流路用溝を有してこの溝面を発熱面に相対させて前記発熱体基板上に積層させたこれらの流路用溝の深さの15倍以上の厚さの流路基板とよりなることを特徴とするサーマルインクジェットヘッド。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インクジエツト記録ヘツド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-326327   出願人：富士ゼロツクス株式会社
• 特開平3-079350