加速度と角速度の複合センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310514
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145736
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】角速度と加速度の両方を検出する複合センサを、1つの振動体により構成することを目的とする。【解決手段】角速度センサを構成する振動体に加速度検知電極を設けることにより、角速度検知と加速度検知とを同時に行なうことが可能な小型の複合センサを実現した。

請求項（抜粋）：

音叉形状をもつ振動体と、この振動体を音叉振動方向に加振する加振電極と、前記振動体上に加わるコリオリの力によって発生する曲げ応力を検出する角速度検知電極と、前記振動体の一部に設けられ、当該振動体の一部に加わる曲げ応力を検知する加速度検知電極とを備えた加速度と角速度の複合センサ。

IPC (2件)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

FI (2件)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

引用特許：

審査官引用 (7件)

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