特許
J-GLOBAL ID：200903064028348448
電子分光方法とこれを用いた電子分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-205954
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027058
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】超短パルスX線などのパルス励起で試料から放出された電子を、極めて高い検出効率で、しかも高分解能で分光することにより超短パルスX線などの励起を計測手段とする、表面状態の高速現像の研究などの新たな応用分野の開拓を目的とする。【構成】パルスX線乃至パルス超短波長紫外線を試料1に照射し、試料1の表面から放出される電子eを所定距離飛行させ、その飛行時間を測定する電子分光方法とこの方法を用いた電子分光装置。
請求項（抜粋）：
パルスX線乃至パルス超短波長紫外線を試料に照射し、該試料から放出される電子を所定距離飛行させ、その飛行時間を測定することを特徴とする電子分光方法。
IPC (3件)：
G01N 23/225
, H01J 37/252
, H01J 49/40
