特許
J-GLOBAL ID：200903064071737415

圧力センサ

発明者：
広田 久寿

広田 久寿 について

, 
和南城 直也

和南城 直也 について


出願人/特許権者：
株式会社テージーケー

株式会社テージーケー について


代理人 (1件)： 服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-030942
公開番号（公開出願番号）：特開2002-236069
出願日： 2001年02月07日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：
【要約】【課題】 ゲージ抵抗に接続される調整抵抗のトリミングを容易にできるようにすることを目的とする。【解決手段】 配線パターン121,122(131,132)と調整抵抗120(130)との接続部におけるパターン接触面積は、両端子間で互いに異なっている。これにより、調整目標近傍でのカットライン123(133)の長さに対する抵抗値の変化率を小さくして、計算で求めた長さでカットしても、調整誤差を小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
加圧面に導入した被測定媒体の圧力によって歪が形成されるダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの変形部分に被着され、加圧面での歪量に応じて抵抗値が変化するように配置されたゲージ抵抗と、前記ダイヤフラムの非変形部分に配置され、前記ゲージ抵抗に配線パターンにより接続されて前記ゲージ抵抗の抵抗値をトリミングにより補正する調整抵抗とを有する感圧部を備えた圧力センサにおいて、前記配線パターンと前記調整抵抗とが重なって前記調整抵抗の端子を構成する接続部における接触面積が、両端子側で互いに異なっていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 19/04 ,  G01L 9/04
FI (2件)：
G01L 19/04 ,  G01L 9/04
Fターム (11件)：
2F055AA39 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD20 ,  2F055EE15 ,  2F055FF02 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  2F055GG25 ,  2F055GG32
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • シリコン圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-253390   出願人：沖電気工業株式会社
  • 特開昭61-271434
  • 特開昭61-271434

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