特許
J-GLOBAL ID：200903064133238747
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-193527
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007810
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：
【要約】【課題】 簡単な電極パターンによってウエハ吸着領域のほぼ全域に安定で均一な吸着力を得ること。【解決手段】 静電チャック100の電極パターン3は、半径方向に直線部31a、31bを有し、この直線部31a、31bから枝状に複数のC字形状部32a、32bを延出した形状で、その直線部31a、31bは、互いに対向して直径方向となる略一直線上に位置し、前記C字形状部32a、32bは複数の同心円パターンを形成され、相互にくし歯状に入り込むようになる。
請求項（抜粋）：
ウエハステージ上の絶縁体内に正負両電極を埋設した双極型の静電チャックにおいて、前記それぞれの正負電極が、半径方向に延びる半径分の直線部と、この直線部両側から複数の枝状に延出した同心円のC字形状部とを備え、前記直線部が互いに対向して直径方向となる略一直線上に位置し、前記正負電極のC字形状部が相互にくし歯状に入り込んで電極パターンを形成したことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA18
, 5F031HA33
, 5F031HA39
, 5F031LA15
, 5F031MA21
