特許
J-GLOBAL ID:200903064147155879
近接場光発生プローブ及び近接場光発生装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
作田 康夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-319251
公開番号(公開出願番号):特開2004-151046
出願日: 2002年11月01日
公開日(公表日): 2004年05月27日
要約:
【課題】本発明は、散乱体を用いたプローブにおいて、強い近接場光が発生する点以外の部分で発生する近接場光がノイズとなる。【解決手段】散乱体の強い近接場光が発生する頂点以外の部分の表面を、削る深さが近接場光のしみ出し深さ以上になるように削る。【効果】試料観察や記録マークを再生する場合のノイズを抑えることが出来る。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
光源と、
前記光源からの光を照射されることによって、近接場光を発生させる導電性の散乱体を備え、
前記散乱体の、近接場光が発生する箇所における厚さよりも、前記箇所以外の領域における厚さが、薄いことを特徴とする近接場光発生装置。
IPC (5件):
G01N13/14
, G11B5/02
, G11B7/135
, G11B11/105
, G12B21/06
FI (5件):
G01N13/14 B
, G11B5/02 T
, G11B7/135 A
, G11B11/105 566C
, G12B1/00 601C
Fターム (9件):
5D075CD18
, 5D091CC24
, 5D091HH20
, 5D119AA22
, 5D119BA01
, 5D119JA34
, 5D789AA22
, 5D789BA01
, 5D789JA34
引用特許:
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